Làm thế nào để chống ăn mòn trong sản xuất chất bán dẫn?máy hút ẩm công nghiệpgiúp các công ty cải thiện năng suất
Độ ẩm/Độ ẩm dẫn đến ăn mòn các "điểm mạch", sự ngưng tụ trên bề mặt mạch vi mạch và độ bám dính không đúng của chất quang dẫn dẫn đến hỏng hoạt động của các cụm bán dẫn.
Khuyến nghị chung
Độ ẩm tương đối trong khu vực sản xuất lắp ráp chất bán dẫn phải được duy trì ở mức 30% RH, 20°C (70°F).
Của chúng tôimáy hút ẩmGiải pháp
Chất bán dẫn ...... Vi mạch và Vi mạch - Sản xuất đòi hỏi phải duy trì các điều kiện rất chính xác trong khu vực chế tạo/xử lý. Các thành phần được sử dụng trong lắp ráp/xử lý chất bán dẫn thường hút ẩm và do đó rất dễ bị ảnh hưởng bởi điều kiện độ ẩm cao. Điều kiện độ ẩm cao dẫn đến lỗi xử lý chip, độ bám dính không đúng, ăn mòn điểm mạch và nhiều vấn đề khác.
Kiểm soát độ ẩm ...... Một biến quan trọng -
Ngăn chặn sự ăn mòn của "điểm mạch".
Ngăn chặn sự ngưng tụ trên bề mặt mạch vi mạch.
Bảo vệ thiết bị
Độ bám dính tốt hơn của chất quang dẫn
Vì vậy việc kiểm soát độ ẩm trở nên cần thiết
1. Khu vực lắp ráp
Trong quá trình sản xuất chất bán dẫn và mạch tích hợp, độ ẩm quá mức có thể ảnh hưởng xấu đến quá trình liên kết và làm tăng các khuyết tật. Các hợp chất polyme cảm quang được gọi là chất quang dẫn được sử dụng để che các mạch điện được sử dụng trong quá trình ăn mòn. Do tính chất hút ẩm nên chúng hấp thụ độ ẩm, khiến các mạch điện cực nhỏ bị cắt hoặc bắc cầu, dẫn đến hỏng mạch.
2. Khu vực chế tạo wafer
Trong quá trình chế tạo tấm bán dẫn, một máy quay làm nguội bề mặt tấm bán dẫn bằng cách phun chất phát triển lên bề mặt tấm bán dẫn, làm cho dung môi có trên tấm bán dẫn bay hơi nhanh chóng. Điều này dẫn đến sự ngưng tụ hơi nước từ không khí trên bề mặt wafer. Lượng nước bổ sung này trên tấm wafer gây ra sự thay đổi các đặc tính của chất phát triển. Điện trở cũng hấp thụ nước, làm cho polyme trương lên. Việc kiểm soát độ ẩm tương đối đến 30% sẽ loại bỏ khả năng làm mát bề mặt tấm bán dẫn dưới điểm sương của không khí xung quanh bề mặt tấm bán dẫn, do đó ngăn ngừa hư hỏng và hư hỏng.
3. Phòng in thạch bản
Các điều kiện trong buồng quang khắc cần được duy trì trong khoảng từ 20% đến 35% RH ở khoảng 70°F. Độ ẩm quá mức có thể khiến silica hấp thụ nước, dẫn đến độ bám dính của chất quang dẫn không đúng cách, có thể dẫn đến đứt gãy do ứng suất và khuyết tật bề mặt.
4. Giảm tốc độ bơm chân không nhanh hơn
Nếu độ ẩm cao thì thiết bị chân không như máy bơm đông lạnh chạy chậm hơn do lượng hơi nước lớn. Nếu mức RH có thể được giữ ở mức khoảng 30-35% thì tốc độ xử lý hàng loạt sẽ giảm đáng kể.
5. Để bảo vệ thiết bị EPI
Hơi nước hoặc hơi ẩm ngưng tụ trên bề mặt làm mát của thiết bị epiticular, ăn mòn các bộ phận và gây ra lỗi vận hành cũng như làm chậm quá trình. Công nghiệpmáy hút ẩmcó hiệu quả trong việc duy trì các điều kiện độ ẩm nghiêm ngặt nhất cần thiết trong các khu vực sản xuất chất bán dẫn vì chúng có thể duy trì RH ở mức không đổi ở mức thấp tới 1% hoặc thậm chí thấp hơn, bất kể điều kiện môi trường.
