1, 정전기 위험은 두 가지 범주로 나눌 수 있습니다. 하나는 정전기 인력으로 인해 부유 먼지를 흡착하는 것입니다. 다른 하나는 정전기 방전으로 인한 유전 파괴입니다.
1. 정전기 흡착
반도체 부품의 생산 및 제조 공정에서는 석영 및 폴리머 재료로 만들어진 많은 도구와 재료를 사용하기 때문에 절연성이 매우 높습니다. 사용 과정에서 불가피한 마찰로 인해 표면 전하가 지속적으로 축적될 수 있으며 잠재력은 점점 더 높아집니다. 이 경우 정전기의 기계적 효과로 인해 작업장에 부유하는 먼지가 칩 표면에 흡착되기 쉽고, 소량의 먼지 흡착이라도 반도체 장치의 성능에 영향을 미칠 수 있습니다.
2. 정전기 방전 및 절연 파괴
정전기 방전의 시작 및 방전 전원 공급 장치는 공간 전하이므로 저장 에너지가 제한되어 있어 일시적인 부분 파괴 에너지만 제공할 수 있습니다. 정전기 방전의 에너지는 작지만 방전 파형은 매우 복잡하고 제어하기 어렵습니다. 반도체 소자의 소프트 브레이크다운(Soft Breakdown)도 이와 관련이 있다.
정전기로 인한 부품 파손은 전자 장비의 정전기 위험의 주요 원인이며, 전자 장비 제조에 있어서 가장 흔하고 심각한 위험입니다.
인체에서도 정전기가 발생합니다. 인체 정전기 방전은 인체에 감전을 초래하여 작업 효율을 저하시킬 뿐만 아니라 2차 사고(기기 파손 등)의 원인이 될 수 있습니다. 그러므로 충분히 주의를 기울여야 한다.
인체가 충전 및 방전될 때 인체는 서로 다른 반사 정도를 가지게 되는데 이를 감전 감도라고 합니다. 인체에 정전기 충격이 가해지면 큰 생리적 장애는 발생하지 않지만 사람의 업무 효율에 영향을 미치거나 정신적 긴장 및 2차 피해를 일으킬 수 있습니다.
2. 주의해야 할 전자 장비의 정전기 방지
전자 장비의 급속한 발전에 따라 소형화, 고집적화되는 디바이스가 대규모로 생산되고 있으며, 이에 따라 배선 간격도 점점 작아지고, 절연막도 점점 얇아지고, 내전압도 낮아지고 있습니다. 그러나 전자 장비의 생산, 운송, 보관 및 운송 과정에서 발생하는 정전기 전압은 항복 전압 임계값을 훨씬 초과하여 장치의 고장이나 고장을 일으키고 장비의 기술 지표에 영향을 미치며 신뢰성을 저하시킬 수 있습니다.
정전기 예방은 주로 정전기 발생을 억제하고, 정전기 누출을 촉진하며, 정전기를 중화시키는 것입니다. 비전도성 신발을 신으면 걷기 등의 활동으로 인해 전하가 생성 및 축적되며 그 전위는 킬로볼트 수준에 이를 수 있습니다. 두 개의 서로 다른 물체가 서로 접촉하면 경계면에서 전하 이동이 일어나고 양전하와 음전하가 상대적으로 배열되어 이중 전기층을 형성합니다. 물체가 분리되면 두 물체는 각각 극성이 다른 동일한 양의 전하를 생성합니다.
이러한 정전기를 방지하는 원리는 정전기를 발생시키는 주요 요인(물체특성, 표면상태, 대전이력, 접촉면적 및 압력, 분리속도 등)을 최대한 제거하는 것이며; 대전된 순서로 서로 접촉하는 물체의 위치를 최대한 가깝게 만드십시오. 물체 사이의 접촉 면적과 압력이 작아야 하고, 온도도 낮아야 하며, 접촉 시간도 작아야 하고, 분리 속도도 작아야 하며, 접촉 상태가 급격하게 변하지 않아야 합니다. 분말, 액체, 가스는 운송 중 마찰로 인해 정전기를 발생시킵니다. 따라서 유량 제한, 파이프 굽힘 감소, 직경 증가, 진동 방지 등의 조치를 취해야 합니다.
속도, 압력, 마찰 및 접촉 빈도 감소, 적절한 재료 및 모양 선택, 전도성 증가 등의 조치를 금지하는 것 외에도 정전기 보호를 위해 다음 조치를 취할 수도 있습니다. ① 접지. ② 오버랩(또는 점퍼) ③ 차폐. ④ 정전기가 잘 새지 않는 절연체에는 대전방지제를 사용하여 전도성을 높이고 정전기가 새기 쉽게 만듭니다. ⑤ 분무, 살수 등의 방법을 사용하여 환경습도를 개선하고 정전기 발생을 억제한다. ⑥ 정전기 제거기를 사용하여 정전기를 중화합니다. 이것이 정전기를 제거하는 가장 효과적인 방법입니다.
3、 전자 장비 생산 시 정전기를 제거하는 방법
정전기 방지는 주로 정전기 방전을 방지하는 것입니다. 정전기 방전을 제어하려면 정전기의 발생과 제거를 제어해야 합니다. 정전기 발생을 제어하는 것은 주로 기술 프로세스와 기술 프로세스에서 재료 선택을 제어하는 것입니다. 정전기 제거는 주로 정전기의 누출 및 중화를 가속화하는 것입니다. 이 두 지점은 정전기 보호 목적을 달성하기 위해 정전기 전압이 안전 임계값을 초과하지 않도록 함께 작동합니다.
정전기는 정전기에 민감한 장치에 해를 끼칠 수 있지만 제어 및 제거가 가능합니다.
1. 정전기 제거:
① 정전기가 발생할 수 있는 장소에서는 정전기가 축적되지 않도록 하십시오. 정전기 방전 발생을 방지하거나 줄이기 위한 특정 조치를 취하십시오. 누출되는 동안 생성하는 방법을 사용하여 전하 축적을 제거할 수 있습니다.
② 기존의 충전누적을 신속히 해소하여야 한다. 절연체에 대전을 시키면 전하가 흐르지 못하고 새어나오지 못하므로 정전기 제거기를 이용하여 외부 이온을 발생시켜 정전기를 중화시킬 수 있습니다. 대전물체가 도체인 경우에는 전하를 완전히 제거하기 위해 간이접지 누설방식을 채택하여야 한다.
작업 영역에 효과적인 정전기 패드와 정전기 제거기를 설치할 수 있습니다. 초음파가습기, 이온팬, 이온에어로드, 이온에어노즐, 이온에어블로워, 정전기제거기 수동전기집진기건(이온에어건), 자동제전기 이온노즐, 이온에어로드, 이온구리로드, 이온에어구리로드, 유도성 정전기제거기 , 고전압 발생기.
2. 정전기 제어: 정전기 제어 기술은 정전기 전하 축적이 불가피한 경우 허용 범위 내에서 정전기 위험을 제어하기 위한 포괄적인 조치를 취하는 것입니다.
① 공정관리 방식의 목적은 생산과정에서 정전기 발생을 최소화하는 것이다. 공정 흐름 중 자재 선정, 장비 설치, 운영 관리 등의 과정에서 정전기 발생 및 전하 축적을 제어하고 정전기 전위 및 방전 에너지를 억제하며 유해성을 최소화하는 예방 조치를 취해야 합니다.
② 누설방식은 누설을 통해 정전기를 제거하는 것을 목적으로 한다. 일반적으로 정전기 접지는 전하를 대지로 누설시키는 방법을 사용하며, 정전기 누설을 발생시키기 위해서는 물체의 전도율을 높이는 방법을 사용하는 것이 일반적이다.
③ 정전기 차폐 방식은 접지된 차폐체를 사용하여 대전체를 다른 물체로부터 격리함으로써 대전체의 전기장이 주변의 다른 물체에 영향을 미치지 않도록 합니다. 이 차폐 방법을 내부 전계 차폐라고 합니다. 때때로 고립된 물체는 외부 전기장의 영향으로부터 보호하기 위해 접지된 실드로 둘러싸여 있습니다. 이 차폐 방법을 외부 필드 차폐라고 합니다.
④ 화합물 중화법 및 기타 방법으로 정전기를 제거할 수 있습니다. 일반적으로 정전기 제거 장치에서 생성된 양이온과 음이온(이온 공기총, 이온 팬, 이온 공기 막대, 이온 노즐, 이온 공기 드럼)은 대전체의 전하를 중화하는 데 사용되며, 이는 대전체의 표면을 매끄럽게 만들고 주변 환경을 더욱 깨끗하게 만들어 팁 방전 가능성을 줄입니다.
