1. Les risques électrostatiques peuvent être divisés en deux catégories : l’une est l’adsorption de poussières flottantes causée par l’attraction électrostatique ; L’autre est la rupture diélectrique causée par une décharge électrostatique.
1. Adsorption électrostatique
Dans le processus de production et de fabrication de composants semi-conducteurs, en raison de l'utilisation d'un grand nombre d'outils et de matériaux à base de quartz et de matériaux polymères, leur isolation est très élevée. Pendant le processus d'utilisation, certaines frictions inévitables peuvent conduire à une accumulation continue de charges de surface, et le potentiel devient de plus en plus élevé. En raison de l'effet mécanique de l'électricité statique, dans ce cas, il est facile de faire adsorber la poussière flottante sur le lieu de travail sur la surface de la puce, et même une petite quantité d'adsorption de poussière peut affecter les bonnes performances des dispositifs à semi-conducteurs.
2. Décharge électrostatique et claquage diélectrique
L'alimentation électrique de démarrage et de décharge de la décharge électrostatique est une charge d'espace, donc son énergie stockée est limitée, elle ne peut donc fournir qu'une énergie de panne partielle temporaire. Bien que l’énergie de la décharge électrostatique soit faible, sa forme d’onde de décharge est très complexe et difficile à contrôler. La panne douce des dispositifs semi-conducteurs y est liée.
La panne des composants provoquée par l'électricité statique est la principale source de risques électrostatiques dans les équipements électroniques et constitue le risque le plus courant et le plus grave dans la fabrication d'équipements électroniques.
Le corps humain génère également de l’électricité statique. Les décharges d'électricité statique du corps humain peuvent non seulement provoquer un choc électrique sur le corps humain et réduire l'efficacité du travail, mais peuvent également provoquer des accidents secondaires (c'est-à-dire des dommages à l'appareil). Il convient donc d’y prêter suffisamment d’attention.
Lorsque le corps humain est chargé et déchargé, le corps humain présente différents degrés de réflexion, appelés sensibilité aux chocs électriques. Lorsque le corps humain est choqué par l'électricité statique, même si aucun obstacle physiologique majeur ne se produit, cela peut affecter l'efficacité du travail des personnes ou provoquer des tensions mentales et des dommages secondaires.
2、Antistatique des équipements électroniques auxquels il convient de prêter attention
Avec le développement rapide des équipements électroniques, des dispositifs de petite taille et à haute intégration ont été produits à grande échelle, ce qui entraîne un espacement des fils de plus en plus petit, un film isolant de plus en plus fin et une tension de résistance de claquage plus faible. Cependant, la tension électrostatique générée lors du processus de production, de transport, de stockage et de transport des équipements électroniques dépasse de loin son seuil de tension de claquage, ce qui peut provoquer une panne ou une panne des appareils, affecter les indicateurs techniques de l'équipement et réduire sa fiabilité.
La prévention de l'électricité statique consiste principalement à inhiber la génération d'électricité statique, à accélérer la fuite d'électricité statique et à neutraliser l'électricité statique. Lorsque les gens portent des chaussures non conductrices, des charges électriques seront générées et accumulées en raison de la marche et d'autres activités, et le potentiel peut atteindre le niveau du kilovolt. Lorsque deux objets différents entrent en contact, un mouvement de charge se produira à leurs interfaces et les charges positives et négatives seront disposées relativement pour former une double couche électrique. Si l'objet est séparé, les deux objets produiront chacun une quantité égale de charge avec une polarité différente.
Le principe pour prévenir une telle électricité statique est d'éliminer autant que possible les principaux facteurs (caractéristiques de l'objet, état de surface, historique d'électrification, surface et pression de contact, vitesse de séparation, etc.) qui génèrent de l'électricité statique ; Rendre les positions des objets en contact les uns avec les autres dans la séquence chargée aussi proches que possible ; La zone de contact et la pression entre les objets doivent être petites, la température doit être basse, les temps de contact doivent être courts, la vitesse de séparation doit être faible et l'état de contact ne doit pas changer radicalement. La poudre, le liquide et le gaz génèrent de l'électricité statique en raison de la friction pendant le transport. Par conséquent, des mesures telles que limiter le débit, réduire la flexion des tuyaux, augmenter le diamètre et éviter les vibrations doivent être prises.
En plus des mesures d'inhibition telles que la réduction de la vitesse, de la pression, du frottement et de la fréquence de contact, la sélection des matériaux et des formes appropriés et l'augmentation de la conductivité, les mesures suivantes peuvent également être prises pour la protection électrostatique : ① mise à la terre. ② Chevauchement (ou cavalier) ③ Blindage. ④ Les agents antistatiques sont utilisés pour les isolants qui peuvent difficilement laisser échapper de l'électricité statique afin d'augmenter la conductivité et de faciliter les fuites d'électricité statique. ⑤ Utilisez des méthodes de pulvérisation, d'arrosage et autres pour améliorer l'humidité de l'environnement et inhiber la génération d'électricité statique. ⑥ Utilisez un éliminateur d'électricité statique pour neutraliser l'électricité statique. C'est le moyen le plus efficace d'éliminer l'électricité statique.
3、 Moyens d'éliminer l'électricité statique dans la production d'équipements électroniques
L'antistatique sert principalement à empêcher les décharges électrostatiques. Pour contrôler les décharges électrostatiques, nous devons contrôler la génération et l’élimination de l’électricité statique. Contrôler la génération d'électricité statique consiste principalement à contrôler le processus technologique et la sélection des matériaux dans le processus technologique ; L'élimination de l'électricité statique vise principalement à accélérer la fuite et la neutralisation de l'électricité statique. Ces deux points fonctionnent ensemble pour que la tension électrostatique ne dépasse pas le seuil de sécurité, afin d'atteindre l'objectif de protection électrostatique.
L'électricité statique peut endommager les appareils sensibles à l'électricité statique, mais elle est contrôlable et peut être éliminée.
1. Élimination de l’électricité statique :
① Empêchez l'accumulation de charges statiques dans des endroits susceptibles de générer de l'électricité statique. Prenez certaines mesures pour éviter ou réduire la génération de décharges électrostatiques. La méthode de génération avec fuite peut être utilisée pour éliminer l’accumulation de charges.
② L'accumulation de charges existante doit être éliminée rapidement. Lorsque l'objet isolant est chargé, la charge ne peut pas circuler ni fuir, de sorte que l'éliminateur électrostatique peut être utilisé pour générer des ions étrangers afin de neutraliser la charge statique. Lorsque l'objet chargé est un conducteur, une méthode simple de fuite à la terre doit être adoptée pour éliminer complètement la charge.
Vous pouvez installer un tampon électrostatique efficace et un éliminateur d'électricité statique dans la zone de travail : ultrasonshumidificateur, ventilateur ionique, tige d'air ionique, buse d'air ionique, souffleur d'air ionique, éliminateur électrostatique pistolet de précipitateur électrostatique manuel (pistolet à air ionique), buse ionique d'éliminateur électrostatique automatique, tige d'air ionique, tige de cuivre ionique, tige de cuivre d'air ionique, éliminateur électrostatique inductif , générateur haute tension.
2. Contrôle électrostatique : La technologie de contrôle électrostatique consiste à prendre des mesures complètes pour contrôler les risques électrostatiques dans la plage autorisée lorsque l'accumulation de charges électrostatiques est inévitable.
① L'objectif de la méthode de contrôle de processus est de minimiser la génération de charges électrostatiques dans le processus de production. Des mesures préventives doivent être prises lors du processus de sélection des matériaux, d'installation des équipements, de gestion des opérations, etc. dans le flux du processus pour contrôler la génération d'électricité statique et l'accumulation de charges, inhiber le potentiel électrostatique et l'énergie de décharge, et minimiser les dommages.
② La méthode de fuite vise à éliminer la charge statique due à la fuite. Généralement, la mise à la terre électrostatique est utilisée pour provoquer une fuite de charges vers le sol, et la méthode d'augmentation de la conductivité des objets est généralement utilisée pour provoquer une fuite électrostatique.
③ La méthode de blindage électrostatique utilise un blindage mis à la terre pour isoler le corps chargé des autres objets, de sorte que le champ électrique du corps chargé n'affecte pas les autres objets environnants. Cette méthode de blindage est appelée blindage de champ interne. Parfois, l’objet isolé est entouré d’un blindage mis à la terre pour le protéger de l’influence d’un champ électrique externe. Cette méthode de blindage est appelée blindage contre les champs externes.
④ La méthode de neutralisation composée et d'autres méthodes peuvent éliminer la charge statique. Généralement, les ions positifs et négatifs générés par l'éliminateur électrostatique : pistolet à air ionique, ventilateur ionique, tige d'air ionique, buse ionique, tambour à air ionique sont utilisés pour neutraliser la charge du corps chargé, ce qui peut rendre la surface de l'objet chargé lisse et le plus propre pour l'environnement, réduisant ainsi la possibilité de décharge des pointes.
