كيف يمكن مقاومة التآكل في صناعة أشباه الموصلات؟مزيل الرطوبة الصناعيةمساعدة الشركات على تحسين العائد
تؤدي الرطوبة/الرطوبة إلى تآكل "نقاط الدائرة"، والتكثيف على سطح دوائر الرقائق الدقيقة، والالتصاق غير المناسب لمقاوم الضوء مما يؤدي إلى فشل تشغيل مجموعات أشباه الموصلات.
توصيات عامة
يجب الحفاظ على الرطوبة النسبية في منطقة تصنيع مجموعة أشباه الموصلات عند 30% رطوبة نسبية، و20 درجة مئوية (70 درجة فهرنهايت).
ملكنامزيل الرطوبةالحلول
أشباه الموصلات ...... الدوائر الدقيقة والرقائق الدقيقة - يتطلب التصنيع شروطًا دقيقة جدًا للمحافظة عليها في منطقة التصنيع/المعالجة. عادةً ما تكون المكونات المستخدمة في تجميع/معالجة أشباه الموصلات استرطابية وبالتالي فهي شديدة التأثر بظروف الرطوبة العالية. تؤدي ظروف الرطوبة العالية إلى فشل التعامل مع الرقاقة، والالتصاق غير المناسب، وتآكل نقاط الدائرة والعديد من المشكلات الأخرى.
التحكم في الرطوبة ...... متغير مهم -
يمنع تآكل "نقاط الدائرة".
يمنع التكثيف على أسطح دوائر الرقائق الدقيقة.
يحمي المعدات
التصاق أفضل لمقاوم الضوء
ولذلك، يصبح التحكم في الرطوبة ضرورة
1. منطقة التجميع
في إنتاج أشباه الموصلات والدوائر المتكاملة، يمكن أن تؤثر الرطوبة الزائدة سلبًا على عملية الترابط وتزيد من العيوب. تُستخدم مركبات البوليمر الحساسة للضوء والتي تسمى مقاومات الضوء لإخفاء الدوائر الكهربائية المستخدمة في عملية النقش. نظرًا لطبيعتها الاسترطابية، فإنها تمتص الرطوبة، مما يتسبب في قطع أو سد الدوائر الكهربائية المجهرية، مما يؤدي إلى فشل الدائرة.
2. منطقة تصنيع الويفر
أثناء تصنيع الرقاقة، يقوم الجهاز الدوار بتبريد سطح الرقاقة عن طريق رش المطور على سطح الرقاقة، مما يتسبب في تبخر المذيب الموجود على الرقاقة بسرعة. وينتج عن هذا تكثيف بخار الماء من الهواء على سطح الرقاقة. يؤدي هذا الماء الإضافي على الرقاقة إلى تغيير في خصائص المطور. كما تمتص المقاومة الماء، مما يتسبب في تضخم البوليمر. إن التحكم في الرطوبة النسبية إلى 30% يلغي إمكانية تبريد سطح الرقاقة تحت نقطة الندى للهواء المحيط بسطح الرقاقة، وبالتالي منع الفشل والتدهور.
3. غرفة الطباعة الحجرية للصور
يجب الحفاظ على الظروف في غرفة الطباعة الحجرية الضوئية بين 20% و35% رطوبة نسبية عند درجة حرارة 70 درجة فهرنهايت تقريبًا. يمكن أن تتسبب الرطوبة الزائدة في امتصاص السيليكا للماء، مما يؤدي إلى التصاق غير مناسب لمقاوم الضوء، مما قد يؤدي إلى تمزق الإجهاد وعيوب السطح.
4. تباطؤ أسرع لمضخة التفريغ
إذا كان مستوى الرطوبة مرتفعًا، فإن معدات التفريغ مثل المضخات المبردة تعمل بشكل أبطأ بسبب الحمل الكبير لبخار الماء. إذا كان من الممكن الحفاظ على مستوى الرطوبة النسبية بين حوالي 30-35%، فسيتم تقليل سرعة معالجة الدفعات بشكل كبير.
5. لحماية معدات برنامج التحصين الموسع (EPI).
يتكثف بخار الماء أو الرطوبة على أسطح التبريد للمعدات الفوقي، مما يؤدي إلى تآكل المكونات والتسبب في فشل التشغيل وتباطؤ العملية. صناعيمزيلات الرطوبةفعالة في الحفاظ على ظروف الرطوبة الأكثر صرامة المطلوبة في مناطق تصنيع أشباه الموصلات لأنها قادرة على الحفاظ على الرطوبة النسبية عند مستوى ثابت منخفض يصل إلى 1% أو حتى أقل، بغض النظر عن الظروف البيئية.
